1883 年，Warren S. Johnson發(fā)明了世界上**臺恒溫器。這款恒溫器利用了傳感器和傳感技術(shù)，能夠將溫度保持在一定程度的精 確度。在當時(shí)是非常優(yōu)越的技術(shù)。
20世紀40年代末，**款紅外傳感器問(wèn)世。在之后的幾十年內，傳感器的發(fā)展日新月異，種類(lèi)、功能繁多。目前全世界正在使用的傳感器已超過(guò) 35000 種，可以說(shuō)，現在是傳感器和傳感技術(shù)*為火熱的一個(gè)時(shí)期。?
1987 年，ADI（亞德諾半導體）開(kāi)始投入全新的傳感器研發(fā)。不同于傳統傳感器，這種名叫MEMS的傳感器，采用微電子和微機械加工技術(shù)制造，具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現智能化的特點(diǎn)。ADI 也是業(yè)界*早進(jìn)行MEMS研發(fā)的公司。
1991 年，ADI發(fā)布了業(yè)界**顆High-gMEMS器件，主要用于汽車(chē)**氣囊碰撞監測。而后眾多 MEMS 傳感器被廣泛研發(fā)，用在手機、電燈、水溫檢測等精密儀器上，截止到 2010 年，全世界有大約 600 余家單位從事 MEMS 的研制和生產(chǎn)工作。?
隨著(zhù)云計算、5G、大數據、AI 技術(shù)以及物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的爆發(fā)，智能傳感器和智能傳感技術(shù)逐漸被提及起來(lái)，大量的可穿戴式設備中含有多種生物以及環(huán)境智能感應器，用以采集人體及環(huán)境參數，實(shí)現對穿戴者運動(dòng)健康的管理，其傳感器更高的精度使得設備更加可靠。